中山大學電子與信息工程學院
發布日期:2021-01-16
發布人: 原創
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中山大學電子與信息工程學院
中山大學電子與信息工程集成電路封裝測試實驗室,項目面積1400m2,包含ISO5級(百級)和ISO6(千級)潔凈室;
空調風系統均采用MAU(組合式新風機組)+FFU(高效送風單元)+DCC(干盤管)系統,新風經過MAU處理后進入上夾層,和經過DCC冷卻的回風混合后送入室內,ISO6級潔凈室氣流組織為頂送側下回,ISO5級氣流組織為垂直單向流(面風速設計≤0.25m/s);
潔凈室空調冷熱源供應設計風冷螺桿式冷水機組和風冷螺桿式熱泵機組。